Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Дж.Р.Брюэр, Д.С.Гринич, Д.Р.Херриот, Р.К.Хендерсон, Дж.П.Балантайн, Ж.Тротель, Б.Фэй. Под ред. Дж.Р.Брюэра. Перевод с английского В.В.Копицына и А.Н.Маркова.
Аннотация издательства: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.
సంవత్సరం:
1984
ప్రచురణకర్త:
Радио и связь
భాష:
russian
పేజీల సంఖ్య:
167
ఫైల్:
DJVU, 5.20 MB
IPFS:
,
russian, 1984
Litres
మీ పుస్తక దుకాణాన్ని జోడించాలనుకుంటున్నారా? support@z-lib.do వద్ద మమ్మల్ని సంప్రదించండి
ఫైల్ converter
మరిన్ని శోధన ఫలితాలు
మరిన్ని ప్రయోజనాలు 
![О.С. Моряков — Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Учеб. пособие для ПТУ, В 10 кн.] / Кн. 7 Элионная обработка](https://s3proxy.cdn-zlib.se/covers200/collections/genesis/0a9d8d6e12fc350f71d601048ad0ee0a3e063e1b46b5d8541986217e950150df.jpg)
